Nettoyage de la neige CO₂ de haute pureté pour les processus sensibles des semi-conducteurs

1. Le défi

Dans la fabrication de semi-conducteurs, les composants optiques tels que les miroirs de renvoi doivent être nettoyés sans laisser le moindre résidu. Même les plus infimes impuretés, de l'ordre de quelques ppt (parties par trillion), peuvent compromettre la qualité des plaquettes et, par conséquent, le rendement. Le nettoyage à la neige carbonique nécessite du CO₂ ultra-pur, qui ne doit pas être contaminé, même lors de la compression. Les techniques de compression classiques comportent ici un risque de contamination par des lubrifiants ou des systèmes d'étanchéité. Il fallait donc trouver une solution capable de comprimer le CO₂ de manière extrêmement propre et fiable.

2. La solution sera

Le client utilise un compresseur à membrane métallique de sera pour comprimer du CO₂ gazeux de haute pureté. Le CO₂ comprimé est ensuite refroidi, liquéfié et détendu via une buse, ce qui produit de très fins cristaux de CO₂ (« neige de CO₂ »). Cette neige permet de nettoyer les miroirs sensibles en production sans laisser le moindre résidu. La technologie de compression utilisée fonctionne sans lubrifiant et de manière hermétique, ce qui exclut de manière fiable toute contamination du fluide. La pureté requise du processus est ainsi préservée, même lors de la production du fluide de nettoyage.

3. Les avantages pour le client

• Production fiable de neige de CO₂ ultra-pure pour les processus de nettoyage sensibles
• Aucune contamination du CO₂ due à la compression
• Qualité de nettoyage stable et reproductible dans la fabrication de plaquettes
• Fonctionnement sans défaillance de l'installation pendant de nombreuses années

4. Conclusion succincte

Ce projet montre que les exigences de pureté extrêmement élevées dans la fabrication de semi-conducteurs ne peuvent être maîtrisées de manière sûre qu'avec une technologie de compresseurs systématiquement propre et hermétique.