Industria dei semiconduttori – Compressione dei gas per applicazioni con elevati requisiti di purezza
L’industria dei semiconduttori impone requisiti elevati in termini di purezza dei gas, tenuta e stabilità di processo. Anche minime impurità possono influire sui processi di produzione. I compressori a membrana metallica sera HYDROGEN vengono impiegati ovunque sia necessario comprimere i gas di processo senza olio e in condizioni definite.
Gas di processo per la produzione di semiconduttori
In processi quali la deposizione chimica da fase gassosa (CVD) o la deposizione fisica da fase gassosa (PVD) vengono utilizzati gas di processo ad elevata purezza. I compressori a membrana sera HYDROGEN comprimono gas quali silano, azoto o argon senza olio e senza contatto tra il lubrificante e il gas di processo. Sono quindi adatti ad applicazioni con elevati requisiti di purezza del gas e condizioni di processo riproducibili.
Compressione di CO₂ per processi di pulizia
Anche nella compressione di CO₂ per processi di pulizia e trattamento delle superfici è fondamentale un aumento preciso della pressione. I compressori sera HYDROGEN consentono la compressione agli intervalli di pressione richiesti e sono adatti ad applicazioni con elevati requisiti di purezza e controllo del processo.
Sviluppati per ambienti di produzione esigenti
La struttura ermetica, la compressione del gas senza olio e la regolazione precisa della pressione supportano applicazioni con elevati requisiti in termini di sicurezza operativa e stabilità di processo. Ciò rende i sistemi adatti a diverse attività nella produzione di semiconduttori.
Grazie alla pluriennale esperienza nella compressione ad alta pressione, sera HYDROGEN sviluppa soluzioni di compressione per applicazioni con elevati requisiti in termini di purezza del gas, tenuta e sicurezza di processo.
I nostri vantaggi
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Innovazione e tecnologia
Tecnologie per processi industriali precisi, sicuri e affidabili.
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Soluzioni personalizzate
Su misura per i vostri processi, i vostri fluidi e le vostre esigenze tecniche.
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Competenza ingegneristica
Dalla progettazione alla messa in servizio: tutto da un unico fornitore.
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Assistenza personalizzata
Assistenza personalizzata dalla fase di progettazione fino alla gestione del vostro impianto.
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Partnership e cooperazione
Insieme sviluppiamo soluzioni per le vostre esigenze di processo specifiche.
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Efficienza energetica
I nostri sistemi favoriscono un uso efficiente dell’energia e costi di esercizio contenuti.
