Limpieza de nieve de CO₂ de gran pureza para procesos sensibles de semiconductores

1. El reto

En la fabricación de semiconductores, los componentes ópticos, como los espejos deflectores, deben limpiarse sin dejar ningún residuo. Incluso la más mínima impureza, del orden de ppt (partes por billón), puede poner en peligro la calidad de las obleas y, por lo tanto, el rendimiento. Para la limpieza con nieve de CO₂ se necesita CO₂ de alta pureza, que no debe contaminarse ni siquiera durante la compresión. Las técnicas de compresión clásicas entrañan aquí el riesgo de contaminación por lubricantes o sistemas de sellado. Por lo tanto, se buscaba una solución que pudiera comprimir el CO₂ de forma extremadamente limpia y con fiabilidad de proceso.

2. La solución de sera

El cliente utiliza un compresor de membrana metálica de sera para comprimir CO₂ gaseoso de alta pureza. A continuación, el CO₂ comprimido se enfría, se licua y se expande a través de una boquilla, de modo que se forman cristales de CO₂ muy finos («nieve de CO₂»). Con esta nieve se limpian completamente y sin dejar residuos los delicados espejos en la producción. La tecnología de compresión utilizada funciona sin lubricantes y es herméticamente estanca, lo que excluye de forma fiable cualquier contaminación del medio. De este modo, se mantiene la pureza requerida del proceso incluso durante la generación del medio de limpieza.

3. Las ventajas para el cliente

• Generación fiable de nieve de CO₂ de alta pureza para procesos de limpieza delicados
• Ausencia de contaminación del CO₂ por la compresión
• Calidad de limpieza estable y reproducible en la fabricación de obleas
• Funcionamiento sin fallos de la instalación durante muchos años

4. Resumen

El proyecto demuestra que los requisitos de pureza extremadamente elevados en la fabricación de semiconductores solo pueden controlarse de forma segura con una tecnología de compresores sistemáticamente limpia y herméticamente estanca.