Industrie des semi-conducteurs

Industrie des semi-conducteurs – Compression de gaz pour des applications exigeant une grande pureté

L'industrie des semi-conducteurs impose des exigences élevées en matière de pureté des gaz, d'étanchéité et de stabilité des processus. Même de faibles impuretés peuvent influencer les processus de fabrication. Les compresseurs à membrane métallique sera HYDROGEN sont utilisés partout où les gaz de process doivent être comprimés sans huile et dans des conditions définies.

Gaz de process pour la fabrication de semi-conducteurs

Des procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou le dépôt physique en phase vapeur (PVD) nécessitent l’utilisation de gaz de procédé d’une grande pureté. Les compresseurs à membrane sera HYDROGEN compriment des gaz tels que le silane, l’azote ou l’argon sans huile et sans contact entre le lubrifiant et le gaz de procédé. Ils conviennent ainsi aux applications exigeant une grande pureté des gaz et des conditions de procédé reproductibles.

Compression du CO₂ pour les processus de nettoyage

La compression du CO₂ destinée aux processus de nettoyage et de traitement de surface nécessite également une augmentation précise de la pression. Les compresseurs sera HYDROGEN permettent d’atteindre les plages de pression requises et conviennent aux applications exigeant un haut niveau de pureté et un contrôle rigoureux du processus.

Conçus pour les environnements de production exigeants

La conception hermétique, la compression de gaz sans huile et la régulation précise de la pression répondent aux exigences élevées en matière de sécurité de fonctionnement et de stabilité des processus. Ces systèmes conviennent ainsi à diverses tâches dans la fabrication de semi-conducteurs.

Fort d’une longue expérience dans la compression haute pression, sera HYDROGEN développe des solutions de compresseurs pour des applications exigeant une grande pureté du gaz, une étanchéité parfaite et une sécurité des processus.