Compression de fluor sûre et précise pour l'industrie des semi-conducteurs et des plastiques
Dans l'industrie des semi-conducteurs , les compresseurs à membrane métallique jouent un rôle décisif dans les processus de nettoyage. En raison de la réactivité chimique extrêmement élevée du fluor, ce gaz lie de manière fiable toutes les impuretés dans les chambres de production, de sorte qu'elles peuvent ensuite être éliminées par rinçage.
Dans le traitement de surface des matières plastiques par fluoration, nos compresseurs assurent également une mise à disposition précise de la quantité de gaz nécessaire dans la concentration souhaitée. Malgré la grande réactivité du fluor, notre technologie de compression spécialement développée permet une manipulation sûre et contrôlée. L'utilisation de fluides perfluoropolyéthers ainsi que de surfaces polies en contact avec le gaz minimise le risque de feu de fluor à un niveau maîtrisable.
De plus, la fermeture hermétique de nos compresseurs à membrane métallique garantit qu'aucun gaz de fluor ne s'échappe dans l'environnement et que le gaz reste en même temps protégé contre la contamination par l'oxygène de l'air. Les compresseurs à membrane métallique de sera HYDROGEN offrent ainsi une solution fiable, sans émissions et sûre pour les applications exigeantes dans l'industrie des semi-conducteurs et des matières plastiques.
Avantages
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Précision
Les compresseurs à membrane fournissent des quantités de gaz fluorés exactement dosées.
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Sécurité
Des mesures spéciales permettent de minimiser le risque de brûlure au fluor.
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Pureté du gaz
Pas de contamination du gaz fluor par la pénétration de l'oxygène de l'air.
