CO2 Verflüssigung

Effiziente CO₂-Verflüssigung für industrielle Anwendungen

Die CO₂-Verflüssigung ist ein essenzieller Prozess in verschiedenen Industriezweigen, insbesondere in der Halbleiterindustrie, wo flüssiges CO₂ zur rückstandsfreien Reinigung von Geräten und Apparaten eingesetzt wird. Da Kohlendioxid (CO₂) unter normalen Bedingungen gasförmig ist, muss es durch Druckerhöhung und/oder Abkühlung in den flüssigen Zustand überführt werden.

Der Prozess beginnt mit der Kompression des CO₂ in einem Metallmembrankompressor, der das Gas auf ein hohes Druckniveau bringt. Anschließend wird das komprimierte, teilweise überkritische CO₂ durch einen Kühler geleitet, wodurch es bis zum Kondensationspunkt abgekühlt wird. Durch die anschließende Entspannung in einer Düse entsteht CO₂-Schnee, der sich ideal für eine absolut rückstandsfreie Reinigung eignet.

Die Metallmembrankompressoren von sera HYDROGEN sind hierfür die perfekte Lösung, da sie eine partikelfreie und ölfreie Verdichtung gewährleisten – eine Grundvoraussetzung für die Reinheit des CO₂. Zudem überzeugen sie durch ihre Energieeffizienz, Zuverlässigkeit und einfache Wartung, was sie zur bevorzugten Wahl für industrielle Prozesse mit hohen Verfügbarkeitsanforderungen macht.