Halbleiterindustrie

Halbleiterindustrie – Gasverdichtung für Anwendungen mit hohen Reinheitsanforderungen

Die Halbleiterindustrie stellt hohe Anforderungen an Gasreinheit, Dichtheit und Prozessstabilität. Bereits geringe Verunreinigungen können Fertigungsprozesse beeinflussen. sera HYDROGEN Metallmembrankompressoren kommen überall dort zum Einsatz, wo Prozessgase ölfrei und unter definierten Bedingungen verdichtet werden müssen.

Prozessgase für die Halbleiterfertigung

Bei Verfahren wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) oder der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) werden hochreine Prozessgase eingesetzt. sera HYDROGEN Membrankompressoren verdichten Gase wie Silan, Stickstoff oder Argon ölfrei und ohne Kontakt zwischen Schmierstoff und Prozessgas. Damit eignen sie sich für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Gasreinheit und reproduzierbare Prozessbedingungen.

CO₂-Verdichtung für Reinigungsprozesse

Auch bei der CO₂-Verdichtung für Reinigungs- und Oberflächenbehandlungsprozesse kommt es auf eine präzise Druckerhöhung an. sera HYDROGEN Kompressoren ermöglichen die Verdichtung auf die erforderlichen Druckbereiche und eignen sich für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Reinheit und Prozesskontrolle.

Entwickelt für anspruchsvolle Produktionsumgebungen

Die hermetisch dichte Bauweise, die ölfreie Gasverdichtung und die präzise Druckregelung unterstützen Anwendungen mit hohen Anforderungen an Betriebssicherheit und Prozessstabilität. Dadurch eignen sich die Systeme für unterschiedliche Aufgaben in der Halbleiterfertigung.

Mit langjähriger Erfahrung in der Hochdruckverdichtung entwickelt sera HYDROGEN Kompressorlösungen für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Gasreinheit, Dichtheit und Prozesssicherheit.