Fluorverdichtung

Sichere und präzise Fluorverdichtung für die Halbleiter- und Kunststoffindustrie

In der Halbleiterindustrie spielen Metallmembrankompressoren eine entscheidende Rolle bei Reinigungsprozessen. Aufgrund der extrem hohen chemischen Reaktivität von Fluor bindet dieses Gas zuverlässig sämtliche Verunreinigungen in Produktionskammern, sodass sie anschließend herausgespült werden können.

Auch in der Oberflächenveredelung von Kunststoffen durch Fluorierung sorgen unsere Kompressoren für eine präzise Bereitstellung der benötigten Gasmenge in der gewünschten Konzentration. Trotz der hohen Reaktivität von Fluor ermöglicht unsere speziell entwickelte Verdichtungstechnologie eine sichere und kontrollierte Handhabung. Der Einsatz von Perfluorpolyether-Fluiden sowie polierten, gasberührten Oberflächen minimiert das Risiko eines Fluorbrandes auf ein beherrschbares Maß.

Zudem gewährleistet die hermetische Dichtheit unserer Metallmembrankompressoren, dass kein Fluorgas in die Umgebung gelangt und das Gas gleichzeitig vor Verunreinigung durch Luftsauerstoff geschützt bleibt. Damit bieten die Metallmembrankompressoren von sera HYDROGEN eine zuverlässige, emissionsfreie und sichere Lösung für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiter- und Kunststoffindustrie.