Semiconductores: compresión de gases de alta pureza.

Industria de los semiconductores: compresión de gases para aplicaciones con altos requisitos de pureza

La industria de los semiconductores plantea exigentes requisitos en cuanto a la pureza de los gases, la estanqueidad y la estabilidad del proceso. Incluso las impurezas más insignificantes pueden afectar a los procesos de fabricación. Los compresores de membrana metálica sera HYDROGEN se utilizan en todos aquellos casos en los que es necesario comprimir gases de proceso sin aceite y en condiciones definidas.

Gases de proceso para la fabricación de semiconductores

En procesos como la deposición química en fase gaseosa (CVD) o la deposición física en fase gaseosa (PVD) se utilizan gases de proceso de alta pureza. Los compresores de membrana sera HYDROGEN comprimen gases como el silano, el nitrógeno o el argón sin aceite y sin contacto entre el lubricante y el gas de proceso. Por ello, son adecuados para aplicaciones con altos requisitos de pureza del gas y condiciones de proceso reproducibles.

Compresión de CO₂ para procesos de limpieza

También en la compresión de CO₂ para procesos de limpieza y tratamiento de superficies es fundamental un aumento preciso de la presión. Los compresores sera HYDROGEN permiten la compresión hasta los rangos de presión necesarios y son adecuados para aplicaciones con altos requisitos de pureza y control del proceso.

Diseñados para entornos de producción exigentes

El diseño hermético, la compresión de gas sin aceite y la regulación precisa de la presión favorecen aplicaciones con altos requisitos de seguridad operativa y estabilidad del proceso. Por ello, los sistemas son adecuados para diversas tareas en la fabricación de semiconductores.

Con una dilatada experiencia en la compresión a alta presión, sera HYDROGEN desarrolla soluciones de compresores para aplicaciones con altos requisitos de pureza del gas, estanqueidad y seguridad del proceso.

Nuestras ventajas

Innovación y tecnología

Tecnologías para procesos industriales precisos, seguros y fiables.
Soluciones personalizadas

Adaptadas a sus procesos, medios y requisitos técnicos.
Competencia en ingeniería

Desde el diseño hasta la puesta en marcha: todo de un solo proveedor.
Asistencia personalizada

Atención personalizada desde la planificación hasta la explotación de su instalación.
Asociación y cooperación

Juntos desarrollamos soluciones para sus requisitos de proceso específicos.
Eficiencia energética

Nuestros sistemas favorecen un uso eficiente de la energía y unos bajos costes de explotación.