Compresión de flúor segura y precisa para la industria de semiconductores y plásticos
En la industria de semiconductores, los compresores de membrana metálica desempeñan un papel crucial en los procesos de limpieza. Debido a la extremadamente alta reactividad química del flúor, este gas aglutina de forma fiable todas las impurezas en las cámaras de producción para que puedan ser eliminadas posteriormente.
Nuestros compresores también garantizan el suministro preciso de la cantidad necesaria de gas en la concentración deseada en el acabado superficial de plásticos mediante fluoración. A pesar de la alta reactividad del flúor, nuestra tecnología de compresión especialmente desarrollada permite una manipulación segura y controlada. El uso de fluidos de perfluoropoliéter y superficies pulidas en contacto con el gas minimiza el riesgo de incendio por flúor a un nivel manejable.
Además, el cierre hermético de nuestros compresores de membrana metálica garantiza que no se produzcan escapes de gas flúor al medio ambiente y que el gas permanezca protegido de la contaminación por oxígeno atmosférico. Por tanto, los compresores de membrana metálica de sera HYDROGEN ofrecen una solución fiable, libre de emisiones y segura para aplicaciones exigentes en las industrias de semiconductores y plásticos.
Ventajas
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Precisión
Los compresores de diafragma suministran cantidades exactamente dosificadas de gas flúor.
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Seguridad
Las medidas especiales minimizan el riesgo de incendio por flúor.
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Pureza del gas
No hay contaminación del gas flúor por el oxígeno atmosférico penetrante.
